光峰科技申请光纤式干涉曝光系统及干涉曝光调整方法专利,保证光栅角度的一致性和均匀性及良好成像效果
发布时间:2025-05-17 00:41 浏览量:3
金融界 2025 年 5 月 16 日消息,国家知识产权局信息显示,深圳光峰科技股份有限公司申请一项名为“光纤式干涉曝光系统及干涉曝光调整方法”的专利,公开号 CN119987143A,申请日期为 2023 年 11 月。
专利摘要显示,本申请公开了一种光纤式干涉曝光系统及干涉曝光调整方法,涉及全息光栅技术领域,包括:导光组件,所述导光组件包括第一光纤和第二光纤;光栅基板,所述光栅基板具有多个曝光位置,导光组件引出的第一相干光和第二相干光在光栅基板上形成干涉曝光场;补偿器件,所述补偿器件具有多个补偿区域,每个所述补偿区域具有对应于一个所述曝光位置的补偿偏角,设于所述第一相干光和第二相干光中至少一束光线的传播路径上。因此,通过补偿器件上的补偿区域调整入射的第一相干光和第二相干光在对应曝光位置上的干涉立体角,使干涉曝光得到的光栅在光栅基板的不同曝光位置上具有的光栅角度均相同,保证了光栅角度的一致性和均匀性,及光栅的良好成像效果。
天眼查资料显示,深圳光峰科技股份有限公司,成立于2006年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46260.5378万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳光峰科技股份有限公司共对外投资了21家企业,参与招投标项目409次,财产线索方面有商标信息395条,专利信息2255条,此外企业还拥有行政许可63个。